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深能级瞬态谱仪(DLTS)是检测半导体材料和器件缺陷和杂质的最好技术手段，它可以测定各种深能级相关参数，如深能级，俘获界面，浓度分布等。
更新时间：2025-11-28
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拉曼光谱用来测试材料应力，掺杂浓度和sheet& pattem等。从散射光的能量转移，强度和偏振等方面可以获取样品丰富信息,如:结晶取向，组分，机械应力，掺杂和温度变化等。
更新时间：2025-11-28产品型号：浏览量：1143
原子力显微镜使用非常小的探针，扫描样品表面，在原子尺度探测样品形貌。Semilab的AFM设备，可灵活配置和测试，具备优异测试稳定性和可靠性。
更新时间：2025-11-28产品型号：浏览量：1200
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