Load Port对应膜厚测量系统 GS-300

产品简介
●Φ支持到300mmEFM单元备用端口的集成

●实现嵌入在晶片中的布线图案的图案对齐

●支持半导体工艺的高吞吐量要求

●支持槽口对齐功能

●小尺寸规格

●高精度自动校准单元

产品型号：

更新时间：2025-11-28

厂商性质：生产厂家

访问量：724

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产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

光谱系统

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产品信息

测量示例

TSV嵌入式图形晶圆研磨后的硅厚度

晶圆厚度Φ300mm尺寸

规格

Load Port对应膜厚测量系统 GS-300

测量示例

Load Port对应膜厚测量系统 GS-300

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