OPTM series 嵌入型

产品简介
利用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点，在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息。

产品型号：

更新时间：2025-11-28

厂商性质：生产厂家

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光谱系统

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产品信息

特　点

●膜厚测量范围1nm～92μm（换算为SiO2）

●膜厚值高重复精度

●1点1秒以内的高速测量

●最小小点Φ3μm）中瞄准模式

●最zui适shi合图案晶片的膜厚映射

●能够取得图案对准用图像

装置组装示意图

OPTM series 嵌入型

测量数据示意图

OPTM series 嵌入型

测量光点周边图像

OPTM series 嵌入型

适应过程示例

CMP工艺

蚀刻工艺

成膜工艺等

式样

OPTM series 嵌入型

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上一个：Load Port对应膜厚测量系统 GS-300